產品詳細介紹特點：

*分辨率為0.1/0.5μm時，精度可高達(1.3+0.6L/600)μm；

*確保垂直度（前部）達6μm，直線度達4μm；

*全/半空氣浮動系統可調節氣墊；

*GO/NO-GO LED顯示.

*帶有基本統計功能，另外，通過RS-232C數據輸出與帶有SPC軟件的電腦相連，可實現外部測量數據評估；

*大容量數據存儲，可儲存50個測量程序和60000個測量結果